单片甩干机

应用领域： 单片甩干机机是高洁净度清洗甩干设备, 具有高速甩干，快速烘干，效率高的特●点，不同晶圆尺寸，可通过快速更换甩干头来实现。是湿法清洗工艺的主要设备，体型小运行平稳。其主要用于2-8英寸半导☉体晶圆、掩膜板、各种基片等材料的干燥工艺。具有成本低，快速应用生产等优点。

外      观

1）外形尺寸：

2）机身结构：进口PP板外壳

3）适用2”-8”晶圆加工

工艺参数

1）简便※直接调速面板

2）旋转速度：100-6000 r/min

3) 运行时间：0-999S

设备配置

1）快速拆卸更卐换甩干头（快插式）

2）超高洁净阀门管件

4）喷药冲水清洗功▓能（可选配）

5）氮气加热吹净 （可选配）

5）静电消除装置和电阻率检测控制和探头（可选配）

动力参数

1）电气：220V，1KW

2）N2：OD3/8管，压力：0.25-0.3Mpa，流量：20L/min（无选配氮气加热功能无此项）

3）DI：OD3/8管，压力：0.3-0.4Mpa，流量：10L/min（无选配冲水功能无此项）

4）排水：OD 15mm(UPVC)